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源（材料）进入到这些纳米簇中并充盈其中。成法然后被沉积在基质上或通过去湿法从薄膜上自我组装。成法 纳米技术成法对纳米线来说，成法最终产品的成法长度可由源材料的供应时间来控制。
VLS合成法采用激光融化的成法粒子或者一种原料气硅烷作源（材料）,然后把源(材料)暴露在一种催化剂中。它可以被以胶质的成法形式购买，最好的成法催化材料是液体金属（比如金）的纳米簇。一旦达到了超饱和，成法源（材料）将固化，成法具有交替原子的成法超级网格结构的化合物纳米线可以通过在生长过程中交替源（材料）供应来实现。并从纳米簇上向外生长。成法
